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台积电:将于2024年引进ASML高数值孔径EUV工具

时间:2010-12-5 17:23:32  作者:综合   来源:休闲  查看:  评论:0
内容摘要:综合路透社、台湾“中央社”17日消息,台积电研发资深副总经理米玉杰在台积电技术论坛上表示,公司将在2024年引进ASML高数值孔径极紫外光high-NA EUV)光刻机。台积电业务开发资深副总经理张晓

综合路透社、台积台湾“中央社”17日消息,于年引进台积电研发资深副总经理米玉杰在台积电技术论坛上表示,高数工具公司将在2024年引进ASML高数值孔径极紫外光(high-NA EUV)光刻机。值孔台积电业务开发资深副总经理张晓强称,台积台积电2024年还不准备运用新的于年引进高数值孔径EUV工具生产,将主要用于与合作伙伴的高数工具研究。

报道称,值孔英特尔进入芯片代工业,台积将与台积电竞争客户。于年引进英特尔曾表示,高数工具2025年将开始以高数值孔径EUV进行生产,值孔还说将率先收到这种机器。台积业界正密切关注哪家企业掌握下一代芯片技术的于年引进优势。

高数工具
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